实现高纯气体在线污染监测 | 高压粒子计数器品牌分析
发布日期： 2024-08-02 14:53:12发布者： yaoshijie浏览人次： 4415
“高科技的制造过程通常需要使用高纯度的气体，对于气体纯度指标的把控，通常以测定纯气中水、氧、氮、以及杂质元素等含量从而得出检测结果。检测方法主要为气体色谱法，红外吸收法，电化学法等。然而对于纯气中颗粒物污染问题往往被大家所忽视。颗粒物污染会直接降低终端用户产品制造的良率。目前有效检测高纯气体中颗粒物数量的方法为光散射法，采用高压粒子计数器对气路实时监测。“
高压粒子计数器
Particle Counter
简介
测试高纯气体因气体带有压力，相比测试常压环境，需要克服许多技术难题。目前市面上某公司生产的高压粒子计数器，核心激光器使用的是氦氖激光器；而具备中科院技术背景的上海镭慎光电和上海波汇科技共同投入研发的LSGY-101高压粒子计数器，激光器使用的是激光二极管。
LSGY-101高压粒子计数器
设备对比
Comparison
核心激光器
镭慎高压粒子计数器使用的激光二极管
某主流设备使用的氦氖激光器
1
将这两个产品做对比，首先由于核心激光器使用的不同，某主流设备的气路设计会使谐振腔反射镜与被测气体直接接触，导致设备内部易污染，需要经常维护。而LSGY-101因激光器使用不同，被检测气体不直接与激光器接触，污染概率低，维护次数减少。
2
同时设备维护时氦氖激光器尺寸较长，尾部玻璃管易碎；相比没有玻璃管结构的激光二极管，LSGY-101的维修概率及维护成本将更低。
3
某主流设备的激光器功耗较高，且电源方案转换效率较低，设备工作过程中发热量较大，元器件老化较快，故障率相对较高；LSGY-101的设备功耗较低，长期运行无明显发热。
另外，两种激光器由于激光波长不同（氦氖632.8nm/激光二极管405nm）在检测CO2、CO、NH3时，被检测气体会吸收红光（632.8nm）导致准确性降低。而405nm的激光二极管面对这些气体都有非常好的表现。
内部结构
LSGY-101高压粒子计数器进气管路很短且直接，这种设计使得粒子不易在管路堆积，保证实际检测结果准确性；反观某主流设备，由于内部进气管路狭长且弯绕，管路转角处易堆积粒子，造成管路污染，导致最终结果不准确（无法稳定持续清零）。
稳定性对
在实际使用环境下，某主流设备的用户反映设备易发生漏气或高压报警，当出现此类情况时，需要用户立即联系厂家，设备返厂检查，从而增加检修成本；误工同时引起客户损失。LSGY-101高压粒子计数器已在多家产线上使用，设备仪器可长久持续使用。
使用成本
粒子计数器本身没有耗材，但无论是常压或高压的粒子计数器，都需要定期返厂标定避免在实际使用过程中产生误报。某主流设备的维护及标定费用非常昂贵，LSGY-101高压粒子计数器标定间隔更长，并且可大大减少用户的使用成本。
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(出处: 中国燃烧器网【Chinaburner.com】燃烧机行业技术交流平台)
上海镭慎光电科技有限公司
